Огляд застосування різних технологій вакуумного процесу при різних станах вакууму
Грубий вакуум (105 ~103Pa760~10Torr) Огляд застосування:
1. Вакуумне всмоктування та транспортування твердих речовин, рідин, колоїдів та частинок;
2. Вакуумна присоска для підйому та вакуумне медичне обладнання;
3. Вакуумне формування, тиражування рельєфів;
4. Вакуумна фільтрація;
5. Вакуумне просочення.
Низький вакуум (103~10-1Па10~10-3тор) Огляд застосування:
1. Вакуумна плавка, дегазація, лиття та термічна обробка чорних металів
2. Вакуумна гаряча прокатка та вакуумне хромування поверхні;
3. Вакуумна ізоляція та вакуумна теплоізоляція;
4. Вакуумна дистиляція ліків, масел, полімерних сполук;
5. Вакуумне заморожування та вакуумне сушіння;
6. Вакуумна упаковка та вакуумна інфляційна упаковка;
7. Аеродинамічна труба низького тиску в високошвидкісних аеродинамічних експериментах
високий вакуум (10-1~10-6Па10-3~10-8Торр) Огляд застосування:
1. Вакуумна плавка та рафінування рідкісних металів, надчистих металів і сплавів, напівпровідникових матеріалів; Вакуумно-відновна металургія загальновживаних конструкційних матеріалів;
2. Вакуумне дистиляційне рафінування чистих металів; Випаровування радіоактивних ізотопів;
3. Вакуумне спікання тугоплавких металів;
4. Вакуумне очищеннякристалопідготовка напівпровідникових матеріалів;
5. Виготовлення високотемпературних металографічних мікроскопів та експериментального обладнання з високотемпературних матеріалів;
6. Модифікація поверхні, наприкладвакуумне покриття, іонна імплантація та травлення мембран;
7. Виробництво електрооптичних трубок, іонних трубок, електронних трубок, електронно-променевих трубок, електронних дифрактометрів, електронних мікроскопів, рентгенівських мікроскопів, різних прискорювачів частинок, енергетичних спектрометрів, спектрометрів ядерного випромінювання, нейтронних трубок і газових лазерів в електровакуумна промисловість;
8. Електронно-променева дегазація, електронно-променеве зварювання, зонне плавлення, додавання електронного променя
Надвисокий вакуум (10-1~10-6Па10-1~10-8Торр) Огляд застосування:
1. Дослідження керованого термоядерного синтезу;
2. Виготовлення водневого молекулярного дзеркала еталонного часу;
3 . Дослідження фізики та хімії поверхні;
4. Моделювання космічного середовища у Всесвіті;
5. Експлуатація великих синхронних прискорювачів протонів;
6. Виготовлення електромагнітної підвіски високоточного гіроскопа.
